當某些較軟的、有韌性的試樣，需要經過最終拋光才能達到理想效果時，應選用氧化物懸浮拋光液。

適合于最終拋光所有材料的不干型 硅膠懸浮液。 如銅及銅合金、其它低熔點合金、 碳化物、貴金屬、 電子等。

- 適合于最終拋光的標準硅膠懸浮液． 如用于鋁及鋁合金、鈦、半導體、 黑色金屬、 陶資等硬材料的終拋。