主要用途：
具有高保真表面復現的表面粗糙度和輪廓的測量
精密位移測量
微機械零件的尺寸測量
冶金金相測量
振動測量
厚度測量
直線度, 平面度，弧度的測量
主要特點：
非接觸式表面輪廓測量、反射性能的測量、垂直和橫向的尺寸測量
唯一的通過透鏡觀測描繪被測物體表面特征的傳感器
唯一的通過透鏡觀測描繪被測物體表面特征的傳感器
微型化的傳感器
分辨率1nm
可達2000µm大的測量范圍
光斑直徑< 1µm
適用已確定的制造業的幾乎所有粗糙度測量體系
連續聚焦
主要優點：
在高保真輪廓復現下對3D結構進行快速的非接觸式測量 測量結果與表面結構無關
數據采集和評估可歸并到已有的軟件中
具有可組裝性，可組裝到已有的系統中