1450(W)×1100(D)×1850(H)mm
600(W)×840(D)×800(H)mm
530(W)×700(D)mm ，15層 ◆ 等離子發(fā)生器(美國MKS)
頻率13.56MHZ,功率0-5000W連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配,全電路保護,可連續(xù)長時間工作
觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式
日本愛發(fā)科(ULVAC)機械真空泵 VDN901 (23L/S) （前級泵可選配愛德華干泵）
英國愛德華羅茨泵 EH500(140L/S)
臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英福康高精度真空計、傳感器
美國AE高精度電子質(zhì)量流量計(兩路氣體配制)、針閥
美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件
真空等離子清洗機
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