三乙基硅烷，是一種無色透明的有機硅中間體。

易水解，放出乙醇，生成相應(yīng)的縮合物。也可由硅粉在銅催化劑存在下，與乙醇反應(yīng)來制取。用來合成有機硅中間體及各種硅烷偶聯(lián)劑。也可以通過岐化反應(yīng)制備高純硅烷氣體，或者用于制備有機-無機雜化材料。

三乙基硅烷有毒，存儲過程中需要防潮。