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三維表面測量儀 3D表面測量儀 三維表面輪廓儀 便攜式3D表面測量儀
產(chǎn)地：法國
測量能力：
3D表面形貌 表面輪廓 粗糙度&波紋 臺(tái)層高度
應(yīng)用范圍：
膜層 太陽能硅片 紙張 高分子材料 砂輪 橡膠 金屬
探針劃痕 焊點(diǎn)
基本指標(biāo)：
Z軸范圍最大至1mm
重復(fù)性 10nm
測量范圍最大至 100×100mm
簡介：
MicroPhase是與常規(guī)顯微鏡連接使用的便攜式3D表面測量儀。即在原有顯微鏡的基礎(chǔ)上直接增加3D表面的測量和分析功能，而無需其他光學(xué)或機(jī)電附件，是非常靈活和實(shí)惠的選擇。連接的顯微鏡要求帶有標(biāo)準(zhǔn)C-mount接口。
網(wǎng)址tc-yzg禁發(fā)網(wǎng)址/光學(xué)儀器/1.1.jpg)
網(wǎng)址tc-yzg禁發(fā)網(wǎng)址/光學(xué)儀器/1.2.jpg)
上圖示例：7 X 7mm尺寸金屬架表面測量及坡度分析
MicroPhase 指標(biāo)參數(shù)表：
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物鏡
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5X
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10X
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20X
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50X
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100X
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工作距離，mm
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23.5
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17.5
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4.5
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1
|
1
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數(shù)值孔徑
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0.15
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0.3
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0.45
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0.8
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0.9
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測量范圍(X,Y)，mm2
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1.3 x 1.0
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0.66 x 0.53
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0.33 x 0.27
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0.13 x 0.10
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0.065 x 0.05
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水平分辨率(X,Y)，um
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2.8
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1.4
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0.9
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0.5
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0.4
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GetPhase(GP)/
GetPhase Extended(GPE)
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GP
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GPE
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GP
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GPE
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GP
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GPE
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GP
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GPE
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GP
|
GPE
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最大角度，degrees
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8
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89
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16
|
89
|
24
|
88
|
38
|
84
|
42
|
78
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垂直范圍(Z)，um
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35
|
1000
|
9
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250
|
4
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62.5
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1.1
|
10
|
0.8
|
2.5
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垂直分辨率(Z)，um
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0.35
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6.9
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0.09
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1.7
|
0.04
|
0.7
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0.011
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0.2
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0.008
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0.17
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測量采集點(diǎn)
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1.3M (1280 x 1024 pixels)
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測量時(shí)間，sec
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＜10
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粗糙度范圍Ra，um
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＞0.01 to 3
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機(jī)械件接口
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標(biāo)準(zhǔn)C-mount視頻接口
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L x W x H，mm
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120 x 74 x 173
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重量，kg
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2.5
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廠家保留未經(jīng)預(yù)先通知即更改技術(shù)參數(shù)的權(quán)利，所有配置和技術(shù)條件以即時(shí)報(bào)價(jià)為準(zhǔn)。
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