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美國(guó)AALBORG質(zhì)量流量計(jì),AALBORG流量控制器

 
 
單價(jià) 1.00 / 個(gè)對(duì)比
銷量 暫無(wú)
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品牌 AALBORG
規(guī)格 齊全
過(guò)期 長(zhǎng)期有效
更新 2011-06-09 08:47
 

上海丹祥機(jī)電設(shè)備有限公司

企業(yè)會(huì)員第15年
資料未認(rèn)證
保證金未繳納
  • 上海
  • 上次登錄 2011-06-09
  • 李君 (先生)  
詳細(xì)說(shuō)明
美國(guó)AALBORG質(zhì)量流量計(jì),AALBORG流量控制器,AALBORG閥,AALBORG
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美國(guó)Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年,是世界上著名的氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器的生產(chǎn)廠家,其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學(xué) 、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點(diǎn):性價(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計(jì)數(shù)器
典型應(yīng)用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝 。
設(shè)計(jì)特點(diǎn):
-剛性金屬結(jié)構(gòu)
-流程范圍從0開(kāi)始到10sccm直到0到1000slpm
-最大壓力500psig(34.5Bar)
-泄漏率1*10-7氦氣
-NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明
-可傾斜的LCD讀表
-0-5Vdc或4-20mA信號(hào)輸出
-電路保護(hù)
-可用作便攜式的設(shè)備
-0到100%比例顯示
-可配備流量計(jì)算機(jī)

精度:±1.5%滿量程,包括59℉到77℉的氣體溫度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的壓力。可選±1%滿量程(標(biāo)定精度),在給定的溫度與壓力值條件下。
重復(fù)性:±0.5%滿量程
回應(yīng)時(shí)間:實(shí)際流速±2%超過(guò)滿量程25-100%一般2秒
溫度系數(shù):0.15%滿量程/℃
壓力系數(shù):0.01%滿量程/psi(0.07bar)
氣體/周?chē)鷾囟龋?2℉-122℉(5℃-50℃)
輸出信號(hào):0-5Vdc,最小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻
傳感器輸出:+12Vdc;最大200Ω。+24Vdc可選
時(shí)間恒量:800ms

氣體壓力:最大1000psig(70bar)。可選20psig(1.4bar)
流體接觸面材質(zhì):A:GFC鋁系列為陽(yáng)極電鍍鋁、316不銹鋼、銅和氟橡膠圓環(huán)
B:GFC17S,37S,47S,57S,67S,77S不銹鋼系列:316不銹鋼、氟橡膠圓環(huán)可選氯丁橡膠圓環(huán)。
方位靈敏度:水平到垂直旋轉(zhuǎn)低于15度;標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)是在水平位置
連接:GFC17和37:1/4"卡套螺紋VCR®或1/8"卡套可選(GFC17)
GFC47:3/8"卡套螺紋
GFC57:3/8"卡套螺紋
GFC67:1/2"卡套螺紋
GFC77:3/4"卡套螺紋
VCR®或3/4"卡套可選(GFC77)
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