低溫等離子體（Plasma）應用已經是一個具有全球影響的重要的科學與工程，對高科技經濟的發展及傳統工業的改造有著巨大的影響。三分之一微電子器件設備采用等離子體技術，高分子材料百分之九十都要經過低溫等離子體清洗和等離子體表面處理。科學家預測：二十一世紀低溫等離子體科學與技術將會產生突破，低溫等離子清洗機、等離子處理機、等離子表面處理設備在半導體工業、聚合物薄膜、生命科學、等離子體合成、等離子體三廢處理等領域相對傳統工藝將有革命性的改變。
真空等離子清洗機/大氣等離子處理機有幾種稱謂，又稱低溫等離子體處理機,等離子處理器,等離子處理儀,低溫等離子表面處理機,等離子處理設備，等離子體處理設備，電漿清洗機，電漿處理機，plasma處理機，plasma清洗機，等離子清洗器，等離子清洗儀，等離子刻蝕機，等離子去膠機，等離子體清洗機，等離子體清洗器，等離子體清洗設備。小型、中型及大型等離子表面處理設備廣泛應用于實驗室及工業生產等場合。工作原理是通過其等離子處理技術，改善材料表面潤濕能力，等離子體清洗機使材料能夠進行涂覆、涂鍍、灰化等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。
等離子清洗-等離子處理-等離子刻蝕-等離子去膠-等離子活化-廢氣處理/電催化污水處理
應用領域包括：
> 半導體集成電路及微電子產業
> LCD液晶/LED封裝,PCB線路板制造
> 等離子清洗機生物醫療材料表面改性修飾
> 精密儀器、機械及電氣制造
> 等離子處理機聚合物薄膜、紡織纖維改性處理
> 工業污水處理、有機廢氣處理（VOC）等環保產業
> 等離子表面處理器用于汽車制造、橡膠塑料產業
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