干式螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用的一種真空抽氣設(shè)備。干式螺桿真空泵工作原理是：利用齒輪傳動同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸左螺桿與右螺桿做高速轉(zhuǎn)動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋槳螺旋槽分割成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內(nèi)進(jìn)行傳輸運(yùn)動，但無壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結(jié)構(gòu)對氣體有壓縮作用，最終形成真空。
一、干式螺桿真空泵的優(yōu)點(diǎn)
干式螺桿真空泵在工作時，相互之間無磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)相對平穩(wěn)，噪音比較低，工作腔不需潤滑油，因此，干式螺桿真空泵工作能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空度更高，消耗功率比較低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的升級版產(chǎn)品。
二、干式螺桿真空泵工作原理
干式螺桿真空泵工作原理主要是利用齒輪傳動同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋槳螺旋槽分割成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內(nèi)進(jìn)行傳輸運(yùn)動，無壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結(jié)構(gòu)才對氣體有壓縮的作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比，各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對泵的性能有很大影響。在設(shè)計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境等。干式螺桿真空泵與羅茨真空泵一樣不設(shè)排氣
三、干式螺桿真空泵結(jié)構(gòu)原理
干式螺桿真空泵是立式結(jié)構(gòu)，進(jìn)氣口在上方，排氣口在中部，下部為電機(jī)和潤滑油池。螺桿轉(zhuǎn)子呈中空形，為懸臂支承結(jié)構(gòu)。同步傳動齒輪位于軸承支座下面。變頻電機(jī)通過聯(lián)軸節(jié)與主動轉(zhuǎn)子連接，該泵的氣體路徑較短，且立式結(jié)構(gòu)對排除含微塵氣體較為有利。泵外殼有水冷卻，泵維修也便利。
